ZYGO 纳米位置传感器被广泛应用于闭环运动控制系统，如光刻机和半导体检测工具的工作台，以及可变形光学系统。30 多年来，我们一直在位移和位置传感器领域开拓创新，并与需要高精度和可靠性的客户紧密合作。我们的应用专家团队可以随时帮助您解决您的位置计量挑战。

位移测量干涉仪

ZYGO 的 ZMI™ 系统使用外差干涉仪技术，可精确地测量位置的相对变化。

位置传感器

ZYGO 的 ZPS™ 系统使用超紧凑的非接触式光学传感器，可在高达 64 个同步通道上测量 1.2 mm 范围内的位置。

应用

OEM 服务

30 多年来，ZYGO 的位置测量传感器一直被用于 OEM 应用。我们明白，您需要的是一个值得信赖的合作伙伴，为您提供操作可靠、质量稳定的创新位置计量解决方案，并要能按时交货。

工作台伺服控制

凭借 30 多年的经验，ZYGO 的纳米位置传感产品已成为值得信赖的产品之一，可连续运行，性能卓越。

自适应光学器件控制

通过了解自适应光学器件的实际变形情况，实现对其更精确的控制！ZPS™ 提供了多达 64 个平行排列的小尺寸传感器，可直接测量反射镜或其他光学器件的前后表面，使您能够重建表面变形情况，获得较佳的像差校正。