24 英寸大口径干涉仪系统

ZYGO 的水平轴扩束器可以将 4 英寸干涉仪的原生口径尺寸增加到 12 英寸、18 英寸、24 英寸甚至 32 英寸，实现了对大尺寸光学元件和光学系统进行高精度的干涉测量。

卧式大口径系统提供了独特的能力，可以保持两个独立的计量通道；一个是原生的 4 英寸干涉仪口径，另一个是扩展到 32 英寸的光束，将两个干涉仪合二为一。  当配置适当的配件时，大口径系统可用于测量表面面形轮廓和透射波前质量。

32 英寸大口径干涉仪系统

ZYGO 扩束器已在全球范围内部署，适用于在高要求的应用中对大尺寸光学器件进行精确的计量。  我们在扩束器的开发和关键部件（如超精密参考平面）的内部生产方面拥有数十年的经验，可以确保您的应用需求得到满足，并确保您在未来得到很好的支持。

大口径系统组件可以与干涉仪主机分开购买。请联系您当地的 ZYGO 代表，协助您配置满足您的计量需求的系统。

主要特点

· 更大的口径尺寸 12 英寸、18 英寸、24 英寸和 32 英寸

· 双通道 4 英寸和扩展腿，增加了灵活性，大、小口径均可使用

· 可实现高分辨率，每个扩束器都能保持干涉仪系统的 ITF，高可达 3.4k x 3.4k

· 支持 QPSI 抗振采集

· 工作波长为 633 nm 到 1.55 µm

· 每个口径尺寸都有一系列的光学和机械配件可供选择，包括高达 λ/25 PVr 的参考光学元器件