计算机生成的全息图,是一种神奇的波前“转换器”,可以将干涉仪的标准测试波前,转化成为非球面测试波前,从而让普通激光干涉仪,能用于各类非球面面形测量。
金刚石车削和小工具确定性抛光的进展,极大地提高了光学制造能力,几乎可以生产任何表面形状。设计师们利用这些能力,越来越多地将非球面光学器件设计到成像、传感和激光系统中,以提高性能,减少光学系统的尺寸和重量。
然而,生产高质量的非球面光学器件所需要的不仅仅是抛光设备,还需要计量学来指导抛光和表面材料的去除,使之趋向于与设计紧密匹配的理想表面图形。
CGH(计算机生成全息图)计算机生成的全息图,是一种神奇的波前“转换器”,可以将干涉仪的标准测试波前,转化成为非球面测试波前,从而让普通激光干涉仪,能用于各类非球面面形测量。
Zygo的Verifire VTS和Verifire™非球面产品非常适合CGH应用的生产级非球面和自由形态光学。
Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。
主要特点
· 同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 TTV 和楔角
· 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
· 广泛的横向分辨率,包括像素限制的光学设计,可提供较佳的 ITF
· 1.2k x 1.2k(包括分立变焦,可实现高达 3 倍的光学变焦(适用于进口干涉仪))
· 2.3k x 2.3k
· 3.4k x 3.4k
· 工作波长为 633 nm 到 1.053 µm、1.064 µm 和 1.55 µm
· ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术,可在振动较常见的环境中实现可靠的测量,该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集
· Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置,可消除靶心并降低相干噪声