非球面光学器件在成像、传感和激光系统的设计和实施方面有很大的优势,这些行业包括国防和航空航天、半导体曝光和检查系统以及医疗成像系统。
Verifire Asphere+ (VFA+)利用Fizeau干涉仪的优势,为轴对称非球面提供独特的精确、高分辨率、快速和全孔径计量组合。
VFA+提供了一个灵活的计量平台,只需改变透射球体就能测量一系列轴对称非球体。VFA+配备了一个可选的二级平台,支持计算机生成全息图(CGH),将非球面形状的能力扩展到非对称自由曲面和离轴非球面光学。
新产品! 注重提高用户体验,您可以轻松设置新的测量,浏览测量数据和结果,并诊断生产问题。Mx™软件能够实现高效的研发和原型设计阶段,并通过简单的一键设置、对准和测量功能改善生产应用。
Verifire™ MST 可对光学元件和镜头系统的表面形貌和透射波前进行高精度测量。它是一个可以同时测量多个表面形貌的商用干涉仪系统,可以保持相对表面信息,并快速提供多个表面的结果。
主要特点
· 同时进行表面和波前表征,还可进行精确的面与面之间的测量,如 TTV 和楔角
· 薄至 0.5 mm 的测试样件的表面形貌和厚度分析
· 广泛的横向分辨率,包括像素限制的光学设计,可提供较佳的 ITF
· 1.2k x 1.2k(包括分立变焦,可实现高达 3 倍的光学变焦(适用于进口干涉仪))
· 2.3k x 2.3k
· 3.4k x 3.4k
· 工作波长为 633 nm 到 1.053 µm、1.064 µm 和 1.55 µm
· ZYGO 独有的 QPSI™ 采集技术,可在振动较常见的环境中实现可靠的测量,该技术现在可用于波长移相和多表面 FTPSI 数据采集
· Ring of Fire火环伪影减少源为标准配置,可消除靶心并降低相干噪声