光学干涉测量法做为一种关键的非触碰表层三维外貌精确测量方式，具备没有受损的、效率高的特性，一直以来自始至终是世界各国高精密精确测量行业的科学研究网络热点。携带式电子光学表层三维外貌在线监测仪便是根据电子光学干预测量方法设计方案的超光洁表层三维外貌测试仪器，以处理机械设备、微电子技术、电子光学等行业超精密机械加工元器件的高精密线上迅速大批量检验难题，比如超大型集成电路芯片晶元、LED蓝色宝石衬底等元器件的生产制造检验，可运用在集成ic、LED、微机械设备、微电子光学、航天航空用电子光学陀螺图片、强激光器、天文望远镜等生产制造与科学研究行业。因为通用性的电子光学表层三维外貌检查仪容积很大，其激光光路系统软件和三维调节载物台是分离的，借助悬壁构造将二者相互连接。这类构造可得到很大竖向检测范围，但仪器设备受震动和气旋危害挺大，可靠性不够，必须配上抗震服务平台或选用别的繁杂的抗震对策，这就大大增加了仪器设备产品研发成本费。加上选用传统式的精确测量台总体设计，被测件放置仪器设备的干预精确测量物镜和载物台中间，限定了被测件的横着规格，没法完成对大口径光电器件表层的检验。综合性之上要素，该类仪器设备只有用以试验室检验，不能满足工业化生产中自动测量的规定。本著作选用激光光路、机械设备、电源电路和手机软件优化算法的一体化和一体化技术性，提升了系统软件可靠性和抗干扰性；选用背测式技术性，摆脱了被测件规格限定；选用重合均值移相干预精确测量技术性，确保了检测精密度。本著作应用性强，应用领域广，具备摆脱海外技术性垄断性，完成技术革新的特性。本著作关键研究方向及成效包含：应用短相关LED干预显像技术性，提升显像品质；根据干涉条纹饱和度转变选中好取样区段，减少了系统偏差；提升了铣机体系结构和电源电路操纵，提升了系统软件的便携式和可靠性；应用背测式构造，载物台坐落于物镜和被测面中间，进而对被测面规格无规格限定；应用了重合均值移相干预精确测量技术性，将干预测量精度提升到亚纳米技术重量级；开发设计了一套集PZT移相、CCD收集揉面形测算剖析于一体的手机软件，将现场采样缩小到10秒左右之内。