白光干涉仪现阶段在三d检验行业是精密度zui高的检测仪器之一，在同样系统软件变大倍数下检验精密度和反复精密度都高过共聚焦光学显微镜和聚焦点成像显微镜，在一些纳米和亚纳米的超精密机械加工行业，除开白光干涉仪，其他的仪器设备没法做到其加工精度规定。

白光干涉仪基本概念：

是用以对各种各样高精密元器件表层开展纳米精确测量的仪器设备，它是以白光干涉技术性为基本原理，灯源传出的光历经扩束镜自准直后经分光仪棱镜后分为两束，一束经被测表层反射面回家，此外一束光经参照镜反射面，两束折射光终聚集并产生干预，光学显微镜将被测表层的外貌特点转换为干涉条纹数据信号，根据精确测量干涉条纹的转变来精确测量表层三维外貌。

白光干涉仪商品主要用途：

融合显微镜与白光干涉仪作用的扫描式白光干涉光学显微镜，融合显微镜物镜与干涉仪、不用繁杂光调节程序流程，兼具体型小、纳米技术屏幕分辨率、易懂实用等优势，可出示竖直扫描仪高宽比达400um的微三维测量，合适各种各样原材料与微部件表层特点和微规格检验。

白光干涉仪的精确测量运用：

以精确测量单刻度楼梯为例子，在查验仪器设备的各线连接头都精确插进相匹配插口后，打开仪器设备电源总开关，起动电子计算机，将单刻度楼梯产品工件置放在载物台正中间部位，先手动式调节载物台大约部位，指向白光干涉仪目镜的正下方。

白光干涉仪的特性：

1、非接触式精确测量：防止物品损伤。

2、三维表层精确测量：表层高宽比检测范围为1nm---200μm。

3、多种视线眼镜片：便捷物镜的迅速转换。

4、纳米屏幕分辨率：竖直屏幕分辨率能够达0.1nm。

5、髙速数据信号转换器：完成精确测量仅需几秒。

6、扫描机：闭环控制系统系统软件。

7、操作台：气动式设备、抗震等级、抗压强度。

8、测量系统：根据windows电脑操作系统的操作界面，强劲而迅速的计算。