白光干涉仪是一种对光线在2个不一样表层反射面后产生的干涉条纹开展剖析的仪器设备。其基本概念便是根据不一样光电器件产生参照激光光路和检验激光光路。

白光干涉仪是用以对各种各样高精密元器件表层开展纳米精确测量的仪器设备，它是以白光干涉技术性为基本原理，灯源传出的光历经扩束镜自准直后经分光仪棱镜后分为两束，一束经被测表层反射面回家，此外一束光经参照镜反射面，两束折射光终聚集并产生干预，光学显微镜将被测表层的外貌特点转换为干涉条纹数据信号，根据精确测量干涉条纹的转变来精确测量表层三维外貌。

白光干涉仪原理：是运用干预基本原理精确测量光程之差进而测量相关标量的光学设备。两束相干光间光程差的一切转变会十分灵巧地造成 干涉条纹的挪动，而某一束相干光的光程转变是由它所根据的几何图形路途或物质折光率的转变造成，因此根据干涉条纹的挪动转变可精确测量几何图形长短或折光率的细微更改量，进而测得与此有关的别的标量。测量精度决策于精确测量光程差的精密度，干涉条纹每挪动一个花纹间隔，光程差就更改一个光波长，因此干涉仪是以光波波长为企业精确测量光程差的，其测量精度之高是一切别的测量法所无可比拟的。

白光干涉仪的维护保养：

1.应用时，各调节位置用劲要适度，不必强旋、硬扳。

2.滑轨面滚珠丝杆应避免 刮伤、生锈，用毕后，仍维持无失油情况。

3.历经高精密调节的仪器设备构件上的螺钉，都涂有红漆，不必私自旋转。

4.传动系统构件需有优良的润化。非常是滑轨、滚珠丝杆、螺帽与孔轴一部分，运用T5高精密仪表盘油润化。

5.仪器设备应妥当地放到干躁、清理的屋子里，避免 震动，仪器设备挪动时，应托着基座，防止滑轨形变。

6.电子光学零件无需时，应储放在清理的干躁盆中，以避免 长霉。后视镜、分光镜一般不允许擦洗，必需擦洗时，须先用配件刷子当心掸去尘土，再用脱油清理棉花球滴上乙醇溶液轻拭。