白光干涉仪现阶段在三d检验行业是精密度的检测仪器之一，在同样系统软件变大倍数下检验精密度和反复精密度都高过共聚焦光学显微镜和聚焦点成像显微镜，在一些纳米和亚纳米的超精密机械加工行业，除开白光干涉仪，其他的仪器设备没法做到其测量精度规定。

白光干涉仪精确测量基本原理

白光干涉仪是运用电子光学干预基本原理新产品研发的超高精密表层轮廓测量仪器。照明灯具光线经半反半透分光镜分威两束光，各自投影到试品表层和参照镜表层。从2个表层反射面的两束光再度根据分光镜后生成一束光，并由显像系统软件在CCD相机光感应面产生2个累加的像。因为两束光互相干预，在CCD相机光感应面会观查到明暗交界线两色的干涉条纹。干涉条纹的色度在于两束光的光程差，依据白光干涉花纹明暗交界线度及其干涉条纹出現的部位分析出被测试品的高度。

白光干涉仪的精确测量运用

以精确测量单刻度阶梯为倒，在查验仪器设备的各线连接头都精确插到相匹配插口后，打开仪器设备电源总开关，起动电子计算机，将单刻度阶梯产品工件置放在载物台正中间部位，先手动式调节载物台大约部位，指向白光干涉仪目镜的正下方。

在电子计算机上开启白光干涉仪测量系统，在程序界面上设定好目镜下滑的低值，再调整摄像镜头与被测单刻度阶梯表层的间距，调节到电脑屏幕上能够 见到两到三条干涉条纹为宜，这时设定好要扫描仪的间距。按开始按钮，白光干涉仪可全自动开展扫描仪精确测量，精确测量进行后，转件自动生成3d图纸像，精确测量工作人员能够 对3d图纸像开展数据统计分析，得到被测元器件表层线、面表面粗糙度和轮廊的3D、0D主要参数。

白光干涉仪具备测量精度高、实际操作方便快捷、作用全方位、精确测量主要参数涵盖面广的优势，精确测量单独高精密元器件的全过程用时2分钟之内，保证了高款率检验。白光干涉仪特有的独特灯源方式，能够 普遍适用从光洁到不光滑等各种各样高精密元器件表层的精确测量。