白光干涉仪的白光干涉法是一种利用干涉原理测量光程差和测量有关物理量的光学仪器。若两个相干光之间的光程差异改变，干涉条纹的运动将十分敏感，相干光的光程变化是由于相干光经过的几何距离或介质折射率的变化而引起的。其它物理量可以通过改变干涉条纹的运动来测量。每条条纹运动的间隔都会改变一个波长(~10-7米)，因此干涉仪用光程差测量单位来测量光程差，其测量精度是其它测量方法无法比拟的。
主要功能是：观测、分析和应用白光干涉。
白光干涉仪特点：
1.无接触测量，避免物体损伤。
2.三维表面测量：表面高度在1到200微米之间。
3.多角度镜头：快速切换物镜。
4.纳米分辨率：垂直分辨率可以达到0.1纳米。
5.高速度数字信号处理器：测量结果只需要几秒。
6.扫描器：闭环控制系统。
7：气动装置，抗震，耐压。
8.测量软件：基于Windows操作系统的用户界面，操作简便、快捷。
白光干涉仪应用范围：
1.首先是半导体芯片。
2.LCD产品(CS、LGP、BIU)
3.微电子机械系统
4.是纤维产品。
5.数据储存(HDD,DVD,CD)
6.研究数据。
7.表面精密加工。
8.生物医学工程。
