NEXIV VMR-1515系列

CNC视频图象坐标测量仪

NEXIV VMR-1515系列

为小尺寸的高速、高精度测量而设计，拥有150 x 150 x 150mm量程的全自动非接触式三维坐标测量系统。全自动小行程，擅于测取接触式量仪所无法测量的各种微小尺寸以及柔软材料的外形尺寸等。8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置。15倍变焦比的5段程控变焦镜组，可以在各段（倍率）间进行自由切换，以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。

1、2、3 型

3 个型号（1、2、3 型）各自有 5 级放大倍率，可满足不同视场及倍率要求；

较长的工作距离（50 毫米），可以满足测量对工件高度方向的空间要求；

高达15倍的变焦比，可以满足低倍大视场搜索和高倍精密测量两方面的需求。与无级变焦机构相比，采用5段、定倍自动变焦机构可以使测量更加快速、准确；

高速、高精度 TTL 激光自动对焦功能。

（但VMR-1515的Performa 型，仅有影象自动对焦功能，无激光自动对焦功能。）

应用领域：

半导体封装、印刷电路板、冲压件、注塑件、连接器及各种小零件，如钟表元件等。

连接器管脚

PGA针脚

小模数塑料齿轮

Z120X型（带高倍头）

光学放大倍数可达120X，能够测量微距线宽；

高精度 TTL 激光自动对焦装置，具有激光光束细、光斑小的特点，支持精细激光扫描测量；

特别适合经过精细加工的小型精密零件的测量；

可选配表面形貌分析软件（Bird's-Eye View），用来显示 MEMS 部件的三维表面形貌。

应用领域：
小型高密度印刷电路板、小型精密模具、半导体封装（二维＋高度），MEMS 部件等。

对焊接引线激光扫描

半导体封装

LU 型（通用反射照明器 / 电动物镜转换器）

光学头采用尼康的CFI60光学系统，可以使用尼康 CFI60 LU 全系列显微物镜；

具有明场、暗场、DIC、简易偏光等显微观察方式；

配备电动通用五孔物镜转换器；

可装备带有玻片厚度修正功能的、专门用于液晶板观测的尼康CF IC LCD Plan CR系列物镜；

易于使用的软件，可控制系统所有功能。

应用领域：
小型液晶显示器、有机EL面板、直径在150 毫米以内的硅片等。

液晶板（DIC观察）