NEXIV VMR-10080系列

CNC视频图象坐标测量仪

NEXIV VMR-10080系列

拥有1000 x 800 x 150mm量程的全自动非接触式三维坐标测量系统。适用于大型平板显示部件等大尺寸零部件的高速、高精度测量。擅长测取接触式量仪所无法测量的各种零部件尺寸。 8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置。15倍变焦比的5段程控变焦镜组，可以在各段（倍率）间进行自由切换，以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。

1、2、3 型

大行程测量载物台，非常适合于液晶显示板以及大尺寸印刷电路板的尺寸测量；

3 个型号（1、2、3 型）各自有 5 级放大倍率，可满足不同视场及倍率要求；

多种多样的照明，使各种零部件的边界都能清晰地显示，确保工件边界可被自动检出；

智能搜索功能可以帮助您完成自动目标定位，确保自动测量程序的不间断运行；

高速载物台以及高速图象数据处理时序提高作业效率；

激光自动对焦及扫描测量功能，可以用来测量工件的高度、高度差、表面翘曲、截面轮廓以及三维表面形貌等。

应用领域：
各种掩模板、掩模母板、荫罩、平板显示器件、印刷电路板等。

高密度印刷电路板

液晶

掩模板

CCD

Z120X 型（带高倍头）

光学放大倍数可达120X，能够测量微距线宽；

高精度 TTL 激光自动对焦装置，具有激光光束细、光斑小的特点，支持精细激光扫描测量；

特别适合经过精细加工的小型精密零件的测量；

可选配表面形貌分析软件（Bird's-Eye View），用来显示 MEMS 部件的三维表面形貌。

应用领域：
液晶显示板、有机EL显示板等。

焊接引线激光扫描

封装

LU 型（通用反射照明器 / 电动物镜转换器）

光学头采用尼康的CFI60光学系统，可以使用尼康 CFI60 LU 全系列显微物镜；

具有明场、暗场、DIC、简易偏光等显微观察方式；

配备电动通用五孔物镜转换器；

可装备带有玻片厚度修正功能的、专门用于液晶板观测的尼康CF IC LCD Plan CR系列物镜；

易于使用的软件，可控制系统所有功能。

应用领域：
大型平板显示器

液晶（DIC观察）