一、1、2、3型机的标配硬件 专为NEXIV VMR设计的、高品质专用物镜 该物镜数值孔径高达 0.35，工作距离长达 50 毫米，经过专门的消畸变设计，可以充分保证工件视窗的窗内测量精度，特别适合于视频图象的精密坐标测量。 具有15 倍变焦比的光学头3 个型号（1、2、3 型）各自有 5 级放大倍率。15倍变焦比的5段自动变焦镜组，可以在各段（倍率）间进行自由切换，以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。
放大倍率与视场（毫米） 
上述总放大倍率为17 英寸液晶显示器，设置为 SXGA（1280×1024）模式时，显示器屏幕上的放大倍率。已升级的TTL 激光自动对焦装置该装置具有对焦速度快、工作距离长、测量精度高的特点，它可以在低倍条件下实现对具有高度差的狭窄区域的自动对焦。它还可以进行每秒1000 点的高速扫描，实现多种高精度 Z 轴扫描测量。
TTL激光自动对焦装置的构成 
用激光扫描得到的锡球表面（三维鸟瞰显示） 高速高精度影象自动对焦由于采用了新的图象数据处理时序以及逐行扫描CCD，使影象自动对焦具有更高的速度和准确度。影象自动对焦适用于不能使用 TTL 激光自动对焦的场合，例如对倾斜度较大的斜面以及回转体外侧边界的对焦。利用多重影象自动对焦功能，能够同时测量视场内多个不同高度的点。多种照明方式VMR 系列有多种照明方式可供选择，能够为工件提供理想的照明，这包括：八方向独立可控LED环形斜照明，分内外两层照明环，其中：
内环照明（与光轴的夹角为 37度）；
外环照明（与光轴的夹角为 75度）。 反射照明（顶部光）； 透射照明（底部光）。 
8方向LED环形照明 
先进的照明手段，使您能够看清通常不易看清的边界，从而可以准确地检出边界。此外，VMR系列的照明条件可以程序控制、记忆，编辑也很方便，可以做多语句同时指定。 二、高倍机的标配硬件新开发的高倍头 VMR-Z120X这种新的镜头组，通过使用可以相互切换两个物镜与变焦头的有机组合，实现从 1倍到 120 倍的光学放大倍率。该系统在高倍下具有非常高的工件视窗窗内测量重复精度，8 级放大倍率总能使您能找到一个合适的倍率，并且可以实现从低倍大视场搜索，直到测量线宽约为1 微米的高倍观察与精密测量。放大倍率与视场（毫米） 
上述总放大倍率为 17 英寸液晶显示器，设置为 SXGA（1280×1024）模式时，显示器屏幕上的放大倍率。低放大倍率 
高放大倍率 
细光束、高分辨率 TTL 激光自动对焦装置 该装置配备有高数值孔径的物镜，具有激光光束细、光斑直径小的特点，能够进行超小激光光点测量。能够显著提高在纤薄的透明或半透明材料（如光阻材料）表面，或不规则反射面上对焦及扫描的性能。可以以为每秒1000 点的速度进行高速扫描测量，从而在多种应用中实现超高精度 Z 轴测量。 
TTL激光自动对焦装置的构成
三种照明类型通过三种 CNC 可控照明____高倍垂直反射与透射、暗场照明，可以向各种工件提供较佳的照明，从而确保各种待测边界可被准确、可靠地探测。三、LU型机的标配硬件CFI60 光学系统使用代表了尼康光学技术的水平的CFI60 光学系统，能摄取明亮的、高对比度的图象，使系统更加适合于大型液晶显示板及其彩色滤色片的测量。该系统既能通过图象处理技术实现工件的尺寸测量，又能用于观察目的。此外，它还可以通过使用高对比度DIC，增强DIC 成象能力。 
LU型光学头 LU型用CFI60系列物镜群 通用电动物镜转换器通过对电动物镜转换器的操控，CNC 测量程序可以改变放大倍率，并为显微观察选择较优放大倍率以及较佳的物镜。从测量到数据处理的自动控制易于使用的软件可控制系统所有的功能，从各种照明的控制，到图象处理以及载物台的移动，测量过程实现自动化控制，确保测量结果的准确一致。使用 LU 型时，以下操作需要手动进行：明场与暗场照明的切换；视场光阑及孔径光阑的设置；起偏器*、检偏器*与Nomarski 棱镜的设置。但此项是有电动型选配件的。电动旋转起偏器／检偏器（选配）
可选配的电动旋转起偏器／检偏器使操作人员能够根据工件情况优化图象对比度。这样在进行 DIC 成象时，可以看到更加明显的微分干涉效果。
各种 CFI60 物镜
CFI60 光学系统较大限度地抑制了杂光，并具有数值孔径（N.A.）高和工作距离（W.D.）长的特点，所以能够摄取明亮的、高对比度的图象。VMR 系列可使用包括 CFI LU 平场 BD在内的各种 CFI60 通用物镜镜头。
*使用EPI系列物镜时, 需使用LU物镜转接环。
LCD观测用CFI物镜
*工作距离与玻片厚度较正环的定位有关。
放大倍率及视场大小
*出厂选件为0.5x镜筒透镜或1.0x镜筒透镜
LCD 物镜镜头的作用请比较使用平场EPI物镜和LCD物镜，隔着玻璃时的观察效果。使用LCD观测用CFI物镜，即便是隔着玻璃，图象依然清晰可见。 
Nomarski DIC 图象
CFI LU平场BD 20x 物镜 采用 DIC 显微术，微小的高度差可以呈现为明亮的高对比度图象，所以能够观察 ACF（各向异性导电膜）焊接过程中的颗粒分布情况。 暗场图象
CFI LU平场BD 50x 物镜 | 
